大型ダブルチャンバータイプ
型式 | TWG-620N | TWG-850N |
---|---|---|
機械寸法(W×D×H) | 1864×1093×1162mm | 2047×1265×1185mm |
シール有効長 | 820mm×4本 | 920mm×4本 |
シール下寸法 | シール間700mm | シール間870mm |
シール幅 | 3mm×2 | |
チャンバー深さ | 250mm | 270mm |
真空ポンプ(内装) | 50Hz: 2670ℓ/分 60Hz: 3170ℓ/分 | 50Hz: 5000ℓ/分 60Hz: 6000ℓ/分 |
電源 | 3相 200V | |
50Hz:4.6kW 60Hz:5.8kW | 50Hz:7.5kW 60Hz:8.5kW | |
重量 | 600kg | 720kg |
株式会社 西原製作所
〒733-0833 広島市西区商工センター8丁目8番17号